オルガノが分析技術に
こだわる理由
不純物を極限まで取り除くためには、まず「何が・どのくらい含まれているか」を正確に知る必要があります。たとえば、半導体製造で求められる超純水（微生物や有機物など不純物を極限まで除去し、理論上の純水・H₂Oに限りなく近づけた水）の水質レベルは非常に高く、市販の分析装置では測れないレベルに達しています。
だからこそオルガノは、独自に分析技術を磨き上げ、目に見えないリスクを可視化することにこだわっています。私たちの高い分析技術自体が納入する超純水製造装置の品質を担保するのです。
当社開発センターでは各種の高度な分析によって装置の性能や水質を確認するために最新鋭の分析機器を使用しています。しかし、最先端の半導体製造に使われる超純水中の不純物は、これら分析機器の検出限界を下回るレベルにあります。そのため、当社は分析技術の開発を継続的に行い、独自開発した膜を利用して世界で初めて10nm（１億分の１メートル）サイズの微粒子を計測することに成功しました（下写真）。
新規開発した膜、ろ過技術と連続自動観察技術を用いることで10nm微粒子の分析を実現し、半導体製品の品質・歩留まり（良品化率）の向上に貢献しています。
除去する対象物に合わせて開発したさまざまな分析手法の一部をご紹介いたします。
オンラインでの通水により、超純水中の金属イオンをクリーンな状態で捕捉します。極微量な金属不純物まで正確に分析できるため、厳密な水質管理が求められる現場の課題解決に貢献します。
TOC（全有機体炭素）測定に加え、LC-MSやGC-MSを用いた高度な定性・定量分析に対応しています。配管からの溶出物や季節によって変動する原水由来の有機成分まで特定し、最適な水質維持をサポートします。
走査型電子顕微鏡（SEM）とEDX（元素分析）を組み合わせ、ナノレベルで異物の形状や成分を解析します。水中の微粒子や分離膜の汚れを視覚的に特定できるため、閉塞トラブルの迅速な原因究明と対策が可能です。
