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TMAH回収システム

これまで廃棄処分されていた現像廃液からTMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)を高効率、高純度で回収します。処理液は現像液として再利用されるので、薬液購入費用の大幅な削減と、環境負荷の低減が可能となります。

高速化の原理

TMAH回収システムの原理

高速化の原理

項目 現像廃液 精製処理液 新液
TMAH(wt%) 0.5 2.4 2.4
フォトレジスト
(mg-C/L)
110 <0.1
Na(ug/L) 40 <1 <1
pH 12.6 13.5 13.5

※LSI工場現像廃棄液を用いたラボ試験結果(御参考値)
(TMAH回収率80%)

製品イメージ

TMAH回収システムのイメージ

※本写真はデモ機のものです。

  • 外形寸法
    W1800×D880×H1800
    (EDユニットの寸法です。外部タンク、ポンプ、配管、機器類等が別途必要になります。)
  • 処理能力
    1-2m3/日(御参考値)
    (処理能力は水質及び運転条件により異なります。大処理量用ユニットの製作も可能です。)

仕組み

TMAH回収システムの仕組み
  • 回収装置:電気透析
    TMAHをフォトレジストと分離、濃縮
  • 精製装置:イオン吸着剤+フィルター
    不純物の除去
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排水処理・回収装置製品一覧
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