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酸還王 H-300

半導体洗浄装置に組み込み可能な超小型 水素水製造ユニット

特徴

  • 高い微粒子洗浄効果を発揮(SC-I洗浄と同等以上の洗浄効果)
  • 環境にやさしいエコな洗浄。(省薬品 アンモニア濃度1ppm)
  • 半導体洗浄装置内蔵や直近設置が可能な超小型設計。
  • 余剰水素の出ない安全設計。(室温洗浄)
  • ユニット内で水素ガスを製造。ユニット外から水素ガス配管引き回しが不要。
  • CEマーキング/SEMI対応。
  • タッチパネルで遠隔/手元操作、日本語/英語を切り替え。

※アンモニア添加時の効果を含む

用途

電機・精密機器など。微粒子除去/表面酸化防止、超音波洗浄効果UP/微細パターン倒壊防止

製品イメージ

酸還王 H-300のイメージ

スペック

型式 処理流量(ℓ/h) 外形寸法(mm) 製品質量(kg) 運転質量(kg)
W D H
H-300 300 300 380 430 18 19
型式 電源(V) 最大電源容量(VA) 処理水 水質原水水質
H-300 単相/200 600 水素濃度1.6ppm以上 導電率0.2μS/cm以下のイオン交換水

* 大流量装置もラインアップしております。
* 100V仕様への変更も可能です

カテゴリ:
製品一覧超純水装置
キーワード:
超純水酸還王
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